2013-08-12新聞聯(lián)播：我國科學家實現(xiàn)微電子領(lǐng)域重大原始創(chuàng)新，復旦大學張衛(wèi)團隊成功研發(fā)半浮柵晶體管（SFGT），該結(jié)果發(fā)表在國際最權(quán)威的《科學》雜志上。半浮柵晶體管可在多類產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用，潛在市場規(guī)模達到300億美元以上。更令國人振奮的是，半浮柵晶體管中關(guān)鍵柵隔離介質(zhì)是在我國自主研發(fā)生產(chǎn)的儀器設(shè)備上成功完成的（嘉興科民公司的ALD設(shè)備）。該設(shè)備由中科院微電子研究所夏洋團隊研發(fā)成功（重大科技專項），與嘉興科民電子公司聯(lián)合進行開發(fā)生產(chǎn)，具有國際領(lǐng)先的性能，已銷往北大、復旦、西安電子科大、南大等多家科研機構(gòu)及出口美國。該成果表明我國在微電子領(lǐng)域已打破了我國在高端儀器設(shè)備受制于人的局面，具備自主開發(fā)高端設(shè)備，創(chuàng)造重大原創(chuàng)突破的能力。