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熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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產品描述
參數
廈門大學國家集成電路產教融合創(chuàng)新平臺
科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺，助力廈門大學實現集成電路產教融合，培養(yǎng)高端集成電路工程人才。
ALD可更換雙腔結構，勻氣內腔，快速反應，反應溫度500℃
PVD無壓環(huán)進口靶腔，自動匹配
曝光機集成度高，365nmLED光源，1μm曝光精度，操作方便
ICP刻蝕機全自動樣品傳輸系統(tǒng)，自動匹配
關鍵詞:
曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機
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