9月6日上午，晶科能源首席科學家王琪來嘉興科民電子參觀指導，微電子設(shè)備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術(shù)重點實驗室、國家發(fā)改委“雙創(chuàng)”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術(shù)的裝備與器件技術(shù)服務(wù)公共平臺、集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺。

  科民電子負責人夏洋老師向王琪介紹了工程中心和公司人才團隊引進和培育情況、團隊主要研究領(lǐng)域、長三角雙創(chuàng)示范基地聯(lián)盟集成電路專業(yè)委員會運行情況及“雙創(chuàng)”支撐平臺建設(shè)情況。工程中心和科民電子公司研發(fā)部負責人名帥強、市場部負責人郭耀亮就主導產(chǎn)品原子層沉積（ALD）系統(tǒng)、物理氣相沉積（PVD ）系統(tǒng)、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）系統(tǒng)等的研發(fā)生產(chǎn)情況、核心競爭力、應(yīng)用場景、市場占有率等進行詳細講解。

  晶科能源首席科學家王琪表示，ALD是革命性的技術(shù)，在太陽能電池組件方便具有不可替代的作用，雙方可發(fā)揮各自優(yōu)勢，進行深度合作。

  嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司是中國科學院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設(shè)備、集束型薄膜沉積系統(tǒng)（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應(yīng)離子刻蝕機（RIE）等高端半導體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應(yīng)用于尖端科技，助力客戶進行高尖端科學研究，客戶包括清華大學、北京大學、復旦大學、中科院半導體研究所等國內(nèi)科研單位。

  產(chǎn)品成功通過大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成功應(yīng)用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內(nèi)知名企業(yè)主力產(chǎn)品線ALD 工序唯一設(shè)備供應(yīng)商，是國內(nèi)首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型，打破了進口設(shè)備在產(chǎn)業(yè)化市場壟斷地位，成功應(yīng)用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。