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• 發(fā)布時(shí)間：2022-10-09
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【概要描述】 為了培育選樹具有行業(yè)頂尖技能水平的科技創(chuàng)新先進(jìn)典型，大力弘揚(yáng)勞模精神、勞動精神、工匠精神和科學(xué)家精神，進(jìn)一步激發(fā)廣大科技工作者建功立業(yè)的積極性、主動性和創(chuàng)造性，10月8日，中國科學(xué)院工會舉辦中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”發(fā)布活動，全院共12個(gè)團(tuán)隊(duì)和7名個(gè)人被授予中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱號?？泼耠娮佣麻L夏洋榮獲中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱號。
夏洋老師長期專注于集成電路技術(shù)及裝備研究，為微電子所儀器設(shè)備研發(fā)中心創(chuàng)始人、嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司董事長，帶領(lǐng)研究團(tuán)隊(duì)瞄準(zhǔn)國家戰(zhàn)略需求，突破了多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅(jiān)克難，在多項(xiàng)國家重大科技計(jì)劃項(xiàng)目中承擔(dān)微電子儀器設(shè)備的研發(fā)工作，成功開發(fā)出原子層沉積系統(tǒng)、浸沒式等離子注入機(jī)、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)、365納米i線曝光機(jī)等集成電路裝備，同時(shí)研發(fā)出原創(chuàng)變電場原子層沉積、吸附反應(yīng)外延等裝備，實(shí)現(xiàn)了我國集成電路高端設(shè)備的重大突破。研發(fā)的儀器設(shè)備在國內(nèi)外科研單位銷售超千臺，有力的支撐了中科院、北京大學(xué)、清華大學(xué)等百余家高校院所的前沿科學(xué)研究，同時(shí)通過核心技術(shù)支持和促進(jìn)了我國多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師，他為了能讓學(xué)生更直觀的了解和掌握微電子儀器操作方法，配套專業(yè)課程專門研發(fā)了集成電路系列科教融合設(shè)備，采用創(chuàng)新的“講授+實(shí)驗(yàn)”教學(xué)模式，為集成電路工藝技術(shù)培養(yǎng)了大量的工程性專業(yè)人才。